掩膜版及掩膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910003804.X

申请日：

2019-01-02

公开(公告)号：

CN109491199A

公开(公告)日：

2019-03-19

发明(设计)人：

张春旭戴珂江鹏吴忠厚张云天邓亚飞

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区新站工业物流园内A组团E区15幢综合楼

IPC主分类号：

G03F164

IPC分类号：

G03F162

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

柴亮;张天舒

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/64 申请日:20190102
2019-03-19	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜版及采用该掩膜版的掩膜装置 [P].

叶剑 .

中国专利 :CN109487206A ,2019-03-19

[2]

掩膜版及掩膜装置 [P].

牛彤 ;

嵇凤丽 ;

吴建鹏 ;

杜森 .

中国专利 :CN210420132U ,2020-04-28

[3]

掩膜版组件及掩膜装置 [P].

王盼盼 ;

邹敏 ;

金玉 ;

李慧 .

中国专利 :CN116288147B ,2025-11-21

[4]

掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法 [P].

牛彤 ;

嵇凤丽 ;

吴建鹏 ;

杜森 .

中国专利 :CN112501558B ,2024-12-13

[5]

掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法 [P].

牛彤 ;

嵇凤丽 ;

吴建鹏 ;

杜森 .

中国专利 :CN112501558A ,2021-03-16

[6]

掩膜版、掩膜装置和显示面板 [P].

付佳 ;

冯士振 ;

范柳彬 ;

刘颖 ;

周皓月 ;

赵栋 ;

陈源源 ;

赵晶晶 .

中国专利 :CN117467934A ,2024-01-30

[7]

掩膜板及掩膜装置 [P].

张丁成 ;

朱修剑 .

中国专利 :CN115637406B ,2025-08-12

[8]

掩膜构件以及掩膜版 [P].

全文磊 ;

黄琰 ;

周洋 ;

徐鸿飞 ;

曾建 ;

兰代江 .

中国专利 :CN119530707A ,2025-02-28

[9]

掩膜板及掩膜装置 [P].

张丁成 ;

朱修剑 .

中国专利 :CN115637406A ,2023-01-24

[10]

傅伟 .

中国专利 :CN111308853A ,2020-06-19

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