掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910801463.0

申请日：

2019-08-28

公开(公告)号：

CN112501558A

公开(公告)日：

2021-03-16

发明(设计)人：

牛彤嵇凤丽吴建鹏杜森

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404 G06F3020 G06F30392

代理机构：

中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038

代理人：

颜镝;王莉莉

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20190828
2021-03-16	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法 [P].

牛彤 ;

嵇凤丽 ;

吴建鹏 ;

杜森 .

中国专利 :CN112501558B ,2024-12-13

[2]

掩膜版及采用该掩膜版的掩膜装置 [P].

叶剑 .

中国专利 :CN109487206A ,2019-03-19

[3]

掩膜版及掩膜装置 [P].

牛彤 ;

嵇凤丽 ;

吴建鹏 ;

杜森 .

中国专利 :CN210420132U ,2020-04-28

[4]

掩膜版及掩膜装置 [P].

张春旭 ;

戴珂 ;

江鹏 ;

吴忠厚 ;

张云天 ;

邓亚飞 .

中国专利 :CN109491199A ,2019-03-19

[5]

掩膜版组件及掩膜装置 [P].

王盼盼 ;

邹敏 ;

金玉 ;

李慧 .

中国专利 :CN116288147B ,2025-11-21

[6]

掩膜版、掩膜装置和显示面板 [P].

付佳 ;

冯士振 ;

范柳彬 ;

刘颖 ;

周皓月 ;

赵栋 ;

陈源源 ;

赵晶晶 .

中国专利 :CN117467934A ,2024-01-30

[7]

一种支撑掩膜版及掩膜装置 [P].

王广成 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN117488243A ,2024-02-02

[8]

掩膜版组件、掩膜装置和显示面板 [P].

李伟丽 ;

张群 ;

邱岳 .

中国专利 :CN120082841A ,2025-06-03

[9]

一种精密金属掩膜版的制作方法及精密金属掩膜版、掩膜装置 [P].

王广成 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN118048607A ,2024-05-17

[10]

一种精密金属掩膜版的制作方法及精密金属掩膜版、掩膜装置 [P].

王广成 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN118048607B ,2025-10-17

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