掩膜版及掩膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921410333.6

申请日：

2019-08-28

公开(公告)号：

CN210420132U

公开(公告)日：

2020-04-28

发明(设计)人：

牛彤嵇凤丽吴建鹏杜森

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1404 G06F3020

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038

代理人：

颜镝;王莉莉

法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-28	授权	授权

共 50 条

[1]

掩膜版及掩膜装置 [P].

张春旭 ;

戴珂 ;

江鹏 ;

吴忠厚 ;

张云天 ;

邓亚飞 .

中国专利 :CN109491199A ,2019-03-19

[2]

掩膜版及采用该掩膜版的掩膜装置 [P].

叶剑 .

中国专利 :CN109487206A ,2019-03-19

[3]

掩膜版组件及掩膜装置 [P].

王盼盼 ;

邹敏 ;

金玉 ;

李慧 .

中国专利 :CN116288147B ,2025-11-21

[4]

掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法 [P].

牛彤 ;

嵇凤丽 ;

吴建鹏 ;

杜森 .

中国专利 :CN112501558B ,2024-12-13

[5]

掩膜版、掩膜装置及掩膜版的设计优化方法 [P].

牛彤 ;

嵇凤丽 ;

吴建鹏 ;

杜森 .

中国专利 :CN112501558A ,2021-03-16

[6]

掩膜版、掩膜装置和显示面板 [P].

付佳 ;

冯士振 ;

范柳彬 ;

刘颖 ;

周皓月 ;

赵栋 ;

陈源源 ;

赵晶晶 .

中国专利 :CN117467934A ,2024-01-30

[7]

一种支撑掩膜版及掩膜装置 [P].

王广成 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN117488243A ,2024-02-02

[8]

掩膜板及掩膜装置 [P].

张丁成 ;

朱修剑 .

中国专利 :CN115637406B ,2025-08-12

[9]

掩膜板及掩膜装置 [P].

张丁成 ;

朱修剑 .

中国专利 :CN115637406A ,2023-01-24

[10]

掩膜装置及掩膜系统 [P].

曾杰 ;

李安石 .

中国专利 :CN104880907A ,2015-09-02

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