掩膜版及其制作方法、掩膜装置和蒸镀方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380011544.5

申请日：

2023-11-01

公开(公告)号：

CN120239761A

公开(公告)日：

2025-07-01

发明(设计)人：

浦超张大成单庆山陈小川黄寅虎杨盛际卢鹏程马召张应兵屈刘泽明苏琦谢卓洋

申请人：

京东方科技集团股份有限公司云南创视界光电科技有限公司北京京东方技术开发有限公司

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

C23C14/24

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

雷思鸣

法律状态：

公开

国省代码：

云南省

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜装置、掩膜版固定方法及其蒸镀方法 [P].

徐健 ;

刘耀阳 .

中国专利 :CN107699853A ,2018-02-16

[2]

掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统 [P].

吕守华 ;

黄俊杰 ;

张德 ;

赵蓉 .

中国专利 :CN108441814A ,2018-08-24

[3]

掩膜版及掩膜版的制作方法 [P].

宋平 ;

肖志慧 ;

单为健 ;

王亚玲 ;

孙增标 .

中国专利 :CN113106388A ,2021-07-13

[4]

掩膜版及掩膜版的制作方法 [P].

潘晟恺 ;

乔永康 .

中国专利 :CN107354426A ,2017-11-17

[5]

掩膜版及其制作方法 [P].

王威 .

中国专利 :CN116162894B ,2024-09-10

[6]

一种掩膜版、掩膜系统及蒸镀掩膜方法 [P].

杨盛际 .

中国专利 :CN110093584A ,2019-08-06

[7]

掩膜装置及其制作方法 [P].

王士敏 ;

郭元元 ;

商陆平 ;

李绍宗 ;

王连彬 ;

陈雄达 .

中国专利 :CN102830586B ,2012-12-19

[8]

掩膜装置及蒸镀方法 [P].

齐英旭 ;

王亚 ;

卓林海 ;

田斌 ;

郭宏伟 ;

于上智 .

中国专利 :CN113278918B ,2021-08-20

[9]

蒸镀掩膜版及制作方法、OLED显示基板及蒸镀方法 [P].

袁洪光 ;

千必根 ;

胡岩 .

中国专利 :CN106816554A ,2017-06-09

[10]

光刻掩膜版及光刻掩膜版的制作方法 [P].

吕振华 ;

陈希 ;

王世君 ;

姜文博 ;

李月 ;

薛艳娜 ;

肖文俊 ;

张勇 ;

包智颖 .

中国专利 :CN105785709A ,2016-07-20

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