掩膜版及掩膜版的制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110399514.9

申请日：

2021-04-14

公开(公告)号：

CN113106388A

公开(公告)日：

2021-07-13

发明(设计)人：

宋平肖志慧单为健王亚玲孙增标

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市昆山开发区龙腾路1号4幢

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424 H01L2732 H01L5100

代理机构：

成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310

代理人：

唐维虎

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-13	公开	公开
2021-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20210414

共 50 条

[1]

掩膜版及掩膜版的制作方法 [P].

潘晟恺 ;

乔永康 .

中国专利 :CN107354426A ,2017-11-17

[2]

光刻掩膜版及光刻掩膜版的制作方法 [P].

吕振华 ;

陈希 ;

王世君 ;

姜文博 ;

李月 ;

薛艳娜 ;

肖文俊 ;

张勇 ;

包智颖 .

中国专利 :CN105785709A ,2016-07-20

[3]

一种掩膜版制作方法及掩膜版 [P].

王广成 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN116949401B ,2025-11-21

[4]

掩膜版及掩膜版组 [P].

陈宁 ;

郭炜 ;

王路 .

中国专利 :CN201974631U ,2011-09-14

[5]

掩膜版及掩膜版组 [P].

陈宁 ;

郭炜 ;

王路 .

中国专利 :CN201974632U ,2011-09-14

[6]

叶建波 ;

徐鹏 ;

马国强 ;

邓江涛 ;

梅菊 ;

丁渭渭 .

中国专利 :CN110735108A ,2020-01-31

[7]

张凡 ;

张锴 ;

孙华平 ;

胡文博 ;

李旭东 ;

龙再勇 ;

刘运阳 ;

李志威 .

中国专利 :CN119045273A ,2024-11-29

[8]

掩膜片、掩膜版 [P].

全威 .

中国专利 :CN111304626B ,2020-06-19

[9]

掩膜版和掩膜组件 [P].

郑江波 ;

黄秀颀 ;

陈凡 ;

康梦华 ;

李伟丽 ;

叶訢 .

中国专利 :CN208604193U ,2019-03-15

[10]

掩膜版及其制作方法、掩膜装置和蒸镀方法 [P].

浦超 ;

张大成 ;

单庆山 ;

陈小川 ;

黄寅虎 ;

杨盛际 ;

卢鹏程 ;

马召 ;

张应兵 ;

屈刘泽明 ;

苏琦 ;

谢卓洋 .

中国专利 :CN120239761A ,2025-07-01

← 1 2 3 4 5 →