掩膜版

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911180859.4

申请日：

2019-11-27

公开(公告)号：

CN110735108A

公开(公告)日：

2020-01-31

发明(设计)人：

叶建波徐鹏马国强邓江涛梅菊丁渭渭

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435

代理人：

郭栋梁

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-01-31	公开	公开
2020-02-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20191127

共 50 条

[1]

掩膜版及掩膜版组 [P].

陈宁 ;

郭炜 ;

王路 .

中国专利 :CN201974631U ,2011-09-14

[2]

掩膜版及掩膜版组 [P].

陈宁 ;

郭炜 ;

王路 .

中国专利 :CN201974632U ,2011-09-14

[3]

张凡 ;

张锴 ;

孙华平 ;

胡文博 ;

李旭东 ;

龙再勇 ;

刘运阳 ;

李志威 .

中国专利 :CN119045273A ,2024-11-29

[4]

掩膜片、掩膜版 [P].

全威 .

中国专利 :CN111304626B ,2020-06-19

[5]

掩膜版和掩膜组件 [P].

郑江波 ;

黄秀颀 ;

陈凡 ;

康梦华 ;

李伟丽 ;

叶訢 .

中国专利 :CN208604193U ,2019-03-15

[6]

掩膜版组件 [P].

关新兴 ;

王威 ;

王魁 .

中国专利 :CN117328017A ,2024-01-02

[7]

掩膜版及掩膜版的制作方法 [P].

宋平 ;

肖志慧 ;

单为健 ;

王亚玲 ;

孙增标 .

中国专利 :CN113106388A ,2021-07-13

[8]

掩膜版及掩膜版的制作方法 [P].

潘晟恺 ;

乔永康 .

中国专利 :CN107354426A ,2017-11-17

[9]

掩膜版支撑装置 [P].

刘军 ;

张彦鹏 ;

张闯 .

中国专利 :CN216980530U ,2022-07-15

[10]

光刻掩膜版及光刻掩膜版的制作方法 [P].

吕振华 ;

陈希 ;

王世君 ;

姜文博 ;

李月 ;

薛艳娜 ;

肖文俊 ;

张勇 ;

包智颖 .

中国专利 :CN105785709A ,2016-07-20

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