掩膜装置及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110164791.8

申请日：

2011-06-17

公开(公告)号：

CN102830586B

公开(公告)日：

2012-12-19

发明(设计)人：

王士敏郭元元商陆平李绍宗王连彬陈雄达

申请人：

申请人地址：

518057 广东省深圳市南山区高新技术产业园区朗山二路9号

IPC主分类号：

G03F100

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-02-06	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101391736964 IPC(主分类):G03F 1/00 专利申请号:2011101647918 申请日:20110617
2014-12-10	授权	授权
2012-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜版及其制作方法、掩膜装置和蒸镀方法 [P].

浦超 ;

张大成 ;

单庆山 ;

陈小川 ;

黄寅虎 ;

杨盛际 ;

卢鹏程 ;

马召 ;

张应兵 ;

屈刘泽明 ;

苏琦 ;

谢卓洋 .

中国专利 :CN120239761A ,2025-07-01

[2]

掩膜板及其制作方法 [P].

关新兴 ;

毕娜 ;

刘华猛 ;

刘佳宁 ;

白珊珊 ;

李彦松 ;

曾琪皓 ;

刘浩 .

中国专利 :CN114752889A ,2022-07-15

[3]

掩膜板及其制作方法 [P].

袁鹏程 ;

翟中远 ;

王永茂 ;

曾望明 ;

张文畅 .

中国专利 :CN109628881A ,2019-04-16

[4]

掩膜板及其制作方法 [P].

关新兴 ;

毕娜 ;

刘华猛 ;

刘佳宁 ;

白珊珊 ;

李彦松 ;

曾琪皓 ;

刘浩 .

中国专利 :CN114752889B ,2024-06-14

[5]

掩膜板及其制作方法 [P].

张峰杰 ;

王路 ;

孙中元 ;

王伟杰 ;

薛金祥 ;

张可忆 .

中国专利 :CN116590657B ,2025-09-19

[6]

掩膜组件及其制作方法 [P].

李吉东 ;

徐鹏 ;

赵建成 .

中国专利 :CN110923626A ,2020-03-27

[7]

虚拟掩膜板、掩膜板及其制作方法 [P].

刘鹏 ;

李付强 ;

冯京 ;

王志冲 ;

栾兴龙 .

中国专利 :CN109814328B ,2019-05-28

[8]

一种掩膜框架及其制作方法、掩膜装置 [P].

张蔡星 ;

钱超 ;

王明芳 .

中国专利 :CN117026151B ,2025-11-07

[9]

掩膜装置及其制作方法、蒸镀系统 [P].

吕守华 ;

黄俊杰 ;

张德 ;

赵蓉 .

中国专利 :CN108441814A ,2018-08-24

[10]

掩膜板及其制作方法、阵列基板及其制作方法、显示装置 [P].

郭永林 ;

刘庭良 ;

张锴 ;

张毅 .

中国专利 :CN108761999B ,2024-06-04

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