掩膜板及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310614521.5

申请日：

2023-05-29

公开(公告)号：

CN116590657B

公开(公告)日：

2025-09-19

发明(设计)人：

张峰杰王路孙中元王伟杰薛金祥张可忆

申请人：

京东方科技集团股份有限公司北京京东方技术开发有限公司

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

C23C14/24 C23F1/02 H10K71/16

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

张博

法律状态：

授权

国省代码：

海南省省直辖县级行政区划

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-19	授权	授权

共 50 条

[1]

虚拟掩膜板、掩膜板及其制作方法 [P].

刘鹏 ;

李付强 ;

冯京 ;

王志冲 ;

栾兴龙 .

中国专利 :CN109814328B ,2019-05-28

[2]

掩膜板及其制作方法 [P].

关新兴 ;

毕娜 ;

刘华猛 ;

刘佳宁 ;

白珊珊 ;

李彦松 ;

曾琪皓 ;

刘浩 .

中国专利 :CN114752889A ,2022-07-15

[3]

掩膜板及其制作方法 [P].

袁鹏程 ;

翟中远 ;

王永茂 ;

曾望明 ;

张文畅 .

中国专利 :CN109628881A ,2019-04-16

[4]

掩膜板及其制作方法 [P].

关新兴 ;

毕娜 ;

刘华猛 ;

刘佳宁 ;

白珊珊 ;

李彦松 ;

曾琪皓 ;

刘浩 .

中国专利 :CN114752889B ,2024-06-14

[5]

掩膜板及其制作方法 [P].

薛龙辉 ;

张微 ;

肖星亮 ;

蔡建畅 .

中国专利 :CN111074204A ,2020-04-28

[6]

掩膜板及其制作方法、掩膜板组件 [P].

张蔡星 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN120519804A ,2025-08-22

[7]

掩膜板及其制作方法、掩膜板组件 [P].

张蔡星 ;

甘帅燕 ;

钱超 .

中国专利 :CN120464965A ,2025-08-12

[8]

掩膜板及其制作方法 [P].

胡小强 ;

秦芹 ;

王亚 .

中国专利 :CN108611597A ,2018-10-02

[9]

掩膜板及其制作方法 [P].

陈秉宏 .

中国专利 :CN111235523A ,2020-06-05

[10]

掩膜板及其制作方法、掩膜组件 [P].

林治明 ;

王震 .

中国专利 :CN106086785B ,2016-11-09

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