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一种晶圆抓取装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321863241.X
申请日：
2023-07-14
公开(公告)号：
CN220604654U
公开(公告)日：
2024-03-15
发明(设计)人：
包蕊
周锐
方伟
张冉
申请人：
上海大族富创得科技股份有限公司
申请人地址：
201112 上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385
代理人：
张浪
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-15 | 授权 | 授权 |