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晶圆抓取装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411785665.8
申请日：
2024-12-06
公开(公告)号：
CN119447018A
公开(公告)日：
2025-02-14
发明(设计)人：
张国伟 徐俊成 张美美 王鹏
申请人：
华海清科（北京）科技有限公司
申请人地址：
100000 北京市大兴区经济技术开发区地盛北街1号院40号楼11层1107室
IPC主分类号：
H01L21/687
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-04 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20241206
2025-02-14 公开 公开
共 50 条
[1]
晶圆抓取装置 [P]. 
张国伟 ;
徐俊成 ;
张美美 ;
王鹏 .
中国专利 :CN223487037U ,2025-10-28
[2]
晶圆抓取装置 [P]. 
张国伟 ;
徐俊成 ;
张美美 ;
王鹏 .
中国专利 :CN119447017A ,2025-02-14
[3]
晶圆抓取装置 [P]. 
张国伟 ;
徐俊成 ;
张美美 ;
王鹏 .
中国专利 :CN223487036U ,2025-10-28
[4]
晶圆抓取装置 [P]. 
李新国 ;
李林东 .
中国专利 :CN217822737U ,2022-11-15
[5]
晶圆高效抓取装置 [P]. 
李佳森 ;
裴文龙 ;
陈晨 ;
张少阳 ;
谷晓东 .
中国专利 :CN213106896U ,2021-05-04
[6]
晶圆抓取移栽装置 [P]. 
梁一凡 ;
李佳森 ;
陈晨 ;
张少阳 .
中国专利 :CN223624970U ,2025-12-02
[7]
晶圆抓取装置及晶圆切割机 [P]. 
施心星 .
中国专利 :CN214605233U ,2021-11-05
[8]
晶圆抓取装置、抛光设备及应用 [P]. 
李善雄 .
中国专利 :CN116117686B ,2024-07-19
[9]
输送晶圆用抓取装置 [P]. 
陈概礼 ;
刘红兵 ;
程鹏 .
中国专利 :CN203225241U ,2013-10-02
[10]
一种晶圆抓取装置 [P]. 
周锐 ;
包蕊 ;
李宏伟 ;
郑青斌 .
中国专利 :CN220821527U ,2024-04-19
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