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输送晶圆用抓取装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220749837.2
申请日：
2012-12-31
公开(公告)号：
CN203225241U
公开(公告)日：
2013-10-02
发明(设计)人：
陈概礼
刘红兵
程鹏
申请人：
申请人地址：
201616 上海市松江区思贤路3600号
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
上海脱颖律师事务所 31259
代理人：
李强
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-17 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20121231 授权公告日:20131002 |
| 2013-10-02 | 授权 | 授权 |