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晶圆抓取装置及晶圆切割机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120365364.5
申请日：
2021-02-07
公开(公告)号：
CN214605233U
公开(公告)日：
2021-11-05
发明(设计)人：
施心星
申请人：
申请人地址：
215123 江苏省苏州市金鸡湖大道99号04幢102室
IPC主分类号：
B28D700
IPC分类号：
B28D500
代理机构：
北京恒博知识产权代理有限公司 11528
代理人：
范胜祥
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-05 | 授权 | 授权 |