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一种晶圆光刻胶控胶设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322316299.9
申请日：
2023-08-28
公开(公告)号：
CN220697295U
公开(公告)日：
2024-04-02
发明(设计)人：
刘天石
刘芳
申请人：
爱佩克斯（合肥）科技有限公司
申请人地址：
230000 安徽省合肥市经济技术开发区天都路4345号3号厂房2层
IPC主分类号：
B05C5/02
IPC分类号：
B05C11/00
B05C11/10
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-22 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止IPC(主分类):B05C 5/02申请日:20230828授权公告日:20240402 |
| 2024-04-02 | 授权 | 授权 |