一种晶圆光刻胶剥离防雾气外溢设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011160457.0

申请日：

2020-10-27

公开(公告)号：

CN112230519A

公开(公告)日：

2021-01-15

发明(设计)人：

赵震

申请人：

申请人地址：

056600 河北省邯郸市临漳县砖寨营乡协王村

IPC主分类号：

G03F742

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

发明专利申请公布后的撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-07	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):G03F 7/42 申请公布日:20210115
2021-01-15	公开	公开
2021-02-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42 申请日:20201027

共 50 条

[1]

晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置 [P].

关贺聲 ;

王一 .

中国专利 :CN208444812U ,2019-01-29

[2]

一种晶圆光刻胶剥离设备 [P].

石雪香 .

中国专利 :CN112130429A ,2020-12-25

[3]

一种晶圆光刻胶剥离设备 [P].

尤古嘉 .

中国专利 :CN112908928A ,2021-06-04

[4]

一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置 [P].

关贺聲 ;

王一 .

中国专利 :CN110739242A ,2020-01-31

[5]

一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置 [P].

关贺聲 ;

王一 .

中国专利 :CN110739242B ,2025-03-18

[6]

一种晶圆光刻胶金属剥离设备 [P].

石雪香 .

中国专利 :CN112495597A ,2021-03-16

[7]

一种晶圆光刻胶控胶设备 [P].

刘天石 ;

刘芳 .

中国专利 :CN220697295U ,2024-04-02

[8]

一种晶圆光刻胶控胶设备 [P].

姚利 .

中国专利 :CN217797159U ,2022-11-15

[9]

一种光刻胶剥离系统及光刻胶剥离方法 [P].

郭昭 ;

李炳天 ;

王振 ;

邓治国 ;

任志明 ;

晏熙 ;

黄超 ;

刘杰 ;

郭荣波 ;

李显杰 .

中国专利 :CN111142342A ,2020-05-12

[10]

光刻胶剥离设备及其剥离方法 [P].

孟祥国 ;

李全波 ;

陆连 .

中国专利 :CN109254506A ,2019-01-22

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