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一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810794940.0
申请日：
2018-07-19
公开(公告)号：
CN110739242B
公开(公告)日：
2025-03-18
发明(设计)人：
关贺聲 王一
申请人：
沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请人地址：
110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B01D46/12 B01D46/42
代理机构：
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人：
何丽英
法律状态：
授权
国省代码：
辽宁省 沈阳市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-18 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置 [P]. 
关贺聲 ;
王一 .
中国专利 :CN208444812U ,2019-01-29
[2]
一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置 [P]. 
关贺聲 ;
王一 .
中国专利 :CN110739242A ,2020-01-31
[3]
一种晶圆光刻胶剥离防雾气外溢设备 [P]. 
赵震 .
中国专利 :CN112230519A ,2021-01-15
[4]
一种晶圆光刻胶金属剥离设备 [P]. 
石雪香 .
中国专利 :CN112495597A ,2021-03-16
[5]
一种晶圆光刻胶剥离设备 [P]. 
石雪香 .
中国专利 :CN112130429A ,2020-12-25
[6]
一种晶圆光刻胶剥离设备 [P]. 
尤古嘉 .
中国专利 :CN112908928A ,2021-06-04
[7]
一种光刻胶及金属层去除剥离单元的工艺腔体 [P]. 
刘忠贺 ;
张庭霄 ;
郭生华 ;
刘涛 .
中国专利 :CN221327653U ,2024-07-12
[8]
一种晶圆光刻胶控胶设备 [P]. 
刘天石 ;
刘芳 .
中国专利 :CN220697295U ,2024-04-02
[9]
一种晶圆光刻胶控胶设备 [P]. 
姚利 .
中国专利 :CN217797159U ,2022-11-15
[10]
晶圆光阻及金属剥离工艺金属回收和分类排废装置 [P]. 
孙俊主 ;
刘迟 .
中国专利 :CN208562482U ,2019-03-01
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