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一种晶圆光刻胶及金属剥离工艺中的防雾气外溢装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810794940.0
申请日：
2018-07-19
公开(公告)号：
CN110739242A
公开(公告)日：
2020-01-31
发明(设计)人：
关贺聲
王一
申请人：
申请人地址：
110168 辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
B01D4600
B01D4612
代理机构：
沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002
代理人：
何丽英
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180719 |
| 2020-01-31 | 公开 | 公开 |