共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种探针台载物台用水冷散热装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322622441.2
申请日：
2023-09-26
公开(公告)号：
CN221127766U
公开(公告)日：
2024-06-11
发明(设计)人：
赵连喜
韩浩
徐永念
申请人：
上海矽弼半导体科技有限公司
申请人地址：
200000 上海市松江区盛龙路859号B栋1楼
IPC主分类号：
H05K7/20
IPC分类号：
G01R1/04
代理机构：
北京众允专利代理有限公司 11803
代理人：
孔辉
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-06-11 | 授权 | 授权 |