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一种用于探针台耐高压低漏电的载物台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321919470.9
申请日：
2023-07-20
公开(公告)号：
CN220438406U
公开(公告)日：
2024-02-02
发明(设计)人：
高凯
王军
龙海洋
申请人：
上海矽弼半导体科技有限公司
申请人地址：
200000 上海市松江区盛龙路859号B栋1楼
IPC主分类号：
G01R1/04
IPC分类号：
G01R1/18
代理机构：
北京众允专利代理有限公司 11803
代理人：
王朝
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-02 | 授权 | 授权 |