一种半导体湿法设备反应腔用风扇过滤器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410009610.1

申请日：

2024-01-03

公开(公告)号：

CN117839328A

公开(公告)日：

2024-04-09

发明(设计)人：

黄莉沈玉柱

申请人：

盛奕半导体科技（无锡）有限公司

申请人地址：

214135 江苏省无锡市新吴区物联网国际创新园F7号

IPC主分类号：

B01D46/00

IPC分类号：

B01D46/42 B01D46/62

代理机构：

无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228

代理人：

俞家涛

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-26	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B01D 46/00申请日:20240103
2024-08-20	授权	授权
2024-04-09	公开	公开

共 50 条

[1]

一种半导体湿法设备反应腔用风扇过滤器 [P].

黄莉 ;

沈玉柱 .

中国专利 :CN117839328B ,2024-08-20

[2]

半导体机台用风扇过滤器 [P].

刘强 ;

杨平 ;

黄伟 .

中国专利 :CN121007156A ,2025-11-25

[3]

一种半导体处理用双介质过滤器 [P].

刘艳梅 ;

朱德顺 .

中国专利 :CN218475067U ,2023-02-14

[4]

一种半导体高效过滤器 [P].

刘艳梅 ;

胡明 ;

李华新 ;

何磊高 ;

肖建民 .

中国专利 :CN212757592U ,2021-03-23

[5]

一种半导体长晶过滤器 [P].

钱元浦 .

中国专利 :CN210495643U ,2020-05-12

[6]

粉尘过滤器以及半导体材料制备设备 [P].

阎大伟 ;

罗跃川 ;

杨奇 ;

吴卫东 ;

王雪敏 ;

彭丽萍 ;

黎维华 ;

沈昌乐 ;

赵妍 ;

湛治强 ;

蒋涛 ;

王新明 ;

邓青华 .

中国专利 :CN206793238U ,2017-12-26

[7]

一种过滤器以及半导体制造设备 [P].

陈慧新 ;

孙永康 .

中国专利 :CN221867607U ,2024-10-22

[8]

电子半导体降温香烟过滤器 [P].

唐耀林 .

中国专利 :CN215013552U ,2021-12-07

[9]

一种半导体用超纯水过滤器 [P].

李京 ;

沈健明 ;

马兵 ;

李敏 .

中国专利 :CN218435122U ,2023-02-03

[10]

一种高效过滤器 [P].

田永 ;

田毅 .

中国专利 :CN203694694U ,2014-07-09

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