一种过滤器以及半导体制造设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420435269.1

申请日：

2024-03-06

公开(公告)号：

CN221867607U

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

陈慧新孙永康

申请人：

浙江创芯集成电路有限公司

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号

IPC主分类号：

B01D29/66

IPC分类号：

B01D29/60 B01D29/94 B01D29/90 B01D35/30 H01L21/67

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327

代理人：

汤陈龙

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	授权	授权

共 50 条

[1]

一种过滤器制造设备 [P].

王江波 ;

王长爱 ;

王长亮 ;

曹义津 ;

逯拥成 .

中国专利 :CN222270525U ,2024-12-31

[2]

半导体制造设备以及制造方法 [P].

袁光杰 ;

周俊卿 ;

张海洋 .

中国专利 :CN107026100A ,2017-08-08

[3]

半导体制造设备、半导体制造方法 [P].

宓晓宇 ;

高桥岳雄 .

中国专利 :CN119920738A ,2025-05-02

[4]

半导体制造设备及半导体制造方法 [P].

林含谕 ;

詹易叡 ;

李芳苇 ;

林立德 ;

林斌彦 ;

林执中 .

中国专利 :CN110323151B ,2019-10-11

[5]

半导体制造设备及半导体制造方法 [P].

李华 .

中国专利 :CN111952139A ,2020-11-17

[6]

制造半导体器件的方法、半导体器件以及半导体制造设备 [P].

别宫史浩 .

中国专利 :CN101964308A ,2011-02-02

[7]

半导体制造设备 [P].

陈维宁 ;

巫凯雄 .

中国专利 :CN110970293A ,2020-04-07

[8]

半导体制造设备 [P].

邓宪哲 ;

林进富 ;

吴俊元 .

中国专利 :CN1779902A ,2006-05-31

[9]

半导体制造设备 [P].

王博汉 ;

余振华 ;

郭宏瑞 ;

胡毓祥 .

中国专利 :CN112180687A ,2021-01-05

[10]

半导体制造设备 [P].

王立廷 ;

陈俊仁 ;

游明华 ;

杨育佳 .

中国专利 :CN115376965A ,2022-11-22

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