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一种立式双面等离子清洗装置
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202311486507.8
申请日
:
2023-11-09
公开(公告)号
:
CN117219977B
公开(公告)日
:
2024-03-01
发明(设计)人
:
冀然
李晓飞
申请人
:
青岛天仁微纳科技有限责任公司
申请人地址
:
266109 山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房
IPC主分类号
:
H01M50/593
IPC分类号
:
H01M50/588
代理机构
:
北京季诺知识产权代理事务所(普通合伙) 16245
代理人
:
任真真
法律状态
:
授权
国省代码
:
山东省 青岛市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-03-01
授权
授权
共 50 条
[1]
一种双面等离子清洗装置
[P].
王学军
论文数:
0
引用数:
0
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0
王学军
;
赵威
论文数:
0
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0
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0
赵威
.
中国专利
:CN215314449U
,2021-12-28
[2]
一种等离子清洗装置
[P].
梁春梅
论文数:
0
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0
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0
梁春梅
;
姜晓林
论文数:
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0
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0
姜晓林
.
中国专利
:CN214078253U
,2021-08-31
[3]
一种等离子清洗装置
[P].
王毅
论文数:
0
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0
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0
王毅
.
中国专利
:CN110076141A
,2019-08-02
[4]
一种智能高精密等离子清洗装置
[P].
张禹
论文数:
0
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0
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张禹
.
中国专利
:CN214813298U
,2021-11-23
[5]
一种等离子自动清洗装置
[P].
丁程
论文数:
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0
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机构:
适新科技(苏州)有限公司
适新科技(苏州)有限公司
丁程
.
中国专利
:CN110605915B
,2024-06-07
[6]
一种等离子自动清洗装置
[P].
丁程
论文数:
0
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0
丁程
.
中国专利
:CN211390601U
,2020-09-01
[7]
一种等离子自动清洗装置
[P].
丁程
论文数:
0
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0
丁程
.
中国专利
:CN110605915A
,2019-12-24
[8]
一种刻蚀机等离子清洗装置
[P].
王维
论文数:
0
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机构:
山东瑞翼德科技股份有限公司
山东瑞翼德科技股份有限公司
王维
;
乔佳原
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机构:
山东瑞翼德科技股份有限公司
山东瑞翼德科技股份有限公司
乔佳原
;
祝加贝
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机构:
山东瑞翼德科技股份有限公司
山东瑞翼德科技股份有限公司
祝加贝
.
中国专利
:CN117772416A
,2024-03-29
[9]
一种刻蚀机等离子清洗装置
[P].
王维
论文数:
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机构:
山东瑞翼德科技股份有限公司
山东瑞翼德科技股份有限公司
王维
;
乔佳原
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机构:
山东瑞翼德科技股份有限公司
山东瑞翼德科技股份有限公司
乔佳原
;
祝加贝
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机构:
山东瑞翼德科技股份有限公司
山东瑞翼德科技股份有限公司
祝加贝
.
中国专利
:CN117772416B
,2024-05-31
[10]
一种等离子清洗装置
[P].
张少波
论文数:
0
引用数:
0
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0
张少波
.
中国专利
:CN207806105U
,2018-09-04
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