一种刻蚀机等离子清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410210825.X

申请日：

2024-02-27

公开(公告)号：

CN117772416A

公开(公告)日：

2024-03-29

发明(设计)人：

王维乔佳原祝加贝

申请人：

山东瑞翼德科技股份有限公司

申请人地址：

264200 山东省威海市经济技术开发区众科创新工业园北区8-2号

IPC主分类号：

B03C3/017

IPC分类号：

B03C3/019 B01D53/26 B01D53/28 B03C3/76 B08B7/00

代理机构：

深圳市洪荒之力专利代理有限公司 44541

代理人：

庄露露

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-03-29	公开	公开
2024-04-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B03C 3/017申请日:20240227
2024-05-31	授权	授权

共 50 条

[1]

一种刻蚀机等离子清洗装置 [P].

王维 ;

乔佳原 ;

祝加贝 .

中国专利 :CN117772416B ,2024-05-31

[2]

等离子刻蚀承载装置及等离子刻蚀机 [P].

丁烨滨 ;

胡根水 ;

孙虎 ;

李俊生 .

中国专利 :CN110299278B ,2019-10-01

[3]

一种挡环装置、等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子刻蚀机 [P].

郭颂 ;

刘小波 ;

陈兆超 ;

车东晨 ;

叶联 ;

刘磊 ;

刘海洋 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN117352355A ,2024-01-05

[4]

等离子刻蚀机清洁装置、方法及等离子刻蚀机 [P].

张彬彬 ;

苏财钰 ;

张涛 ;

苟先华 ;

肖峰 .

中国专利 :CN117766367A ,2024-03-26

[5]

等离子刻蚀机 [P].

欧飞 ;

杨晓峰 ;

谌泽林 ;

刘学光 ;

万稳 .

中国专利 :CN105225989B ,2016-01-06

[6]

等离子刻蚀机 [P].

张小林 ;

白家均 ;

刘文慧 .

中国专利 :CN209216915U ,2019-08-06

[7]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973A ,2024-09-20

[8]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973B ,2025-06-17

[9]

一种等离子刻蚀机 [P].

孙显强 .

中国专利 :CN205944037U ,2017-02-08

[10]

一种等离子刻蚀机 [P].

梁亚 ;

梁志强 .

中国专利 :CN108470671A ,2018-08-31

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