等离子刻蚀机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510657768.0

申请日：

2015-10-13

公开(公告)号：

CN105225989B

公开(公告)日：

2016-01-06

发明(设计)人：

欧飞杨晓峰谌泽林刘学光万稳

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L213065 H01J3732

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

罗瑞芝;陈源

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-02-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101644502524 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2015106577680 申请日:20151013
2018-12-28	授权	授权
2016-01-06	公开	公开

共 50 条

[1]

一种等离子刻蚀机 [P].

梁亚 ;

梁志强 .

中国专利 :CN108470671A ,2018-08-31

[2]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973A ,2024-09-20

[3]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973B ,2025-06-17

[4]

进气机构和等离子刻蚀机 [P].

孙宝林 .

中国专利 :CN106711004B ,2017-05-24

[5]

等离子刻蚀机清洁装置、方法及等离子刻蚀机 [P].

张彬彬 ;

苏财钰 ;

张涛 ;

苟先华 ;

肖峰 .

中国专利 :CN117766367A ,2024-03-26

[6]

等离子刻蚀机 [P].

张小林 ;

白家均 ;

刘文慧 .

中国专利 :CN209216915U ,2019-08-06

[7]

等离子刻蚀承载装置及等离子刻蚀机 [P].

丁烨滨 ;

胡根水 ;

孙虎 ;

李俊生 .

中国专利 :CN110299278B ,2019-10-01

[8]

一种挡环装置、等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子刻蚀机 [P].

郭颂 ;

刘小波 ;

陈兆超 ;

车东晨 ;

叶联 ;

刘磊 ;

刘海洋 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN117352355A ,2024-01-05

[9]

用于等离子刻蚀机的托盘及等离子刻蚀机 [P].

葛丁壹 ;

翁伟 ;

孟令芳 .

中国专利 :CN113851402A ,2021-12-28

[10]

用于等离子刻蚀机的托盘及等离子刻蚀机 [P].

葛丁壹 ;

翁伟 ;

孟令芳 .

中国专利 :CN113851402B ,2024-11-15

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