一种挡环装置、等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子刻蚀机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210752792.2

申请日：

2022-06-29

公开(公告)号：

CN117352355A

公开(公告)日：

2024-01-05

发明(设计)人：

郭颂刘小波陈兆超车东晨叶联刘磊刘海洋胡冬冬许开东

申请人：

江苏鲁汶仪器股份有限公司

申请人地址：

221300 江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路8号

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

宋天凯

法律状态：

公开

国省代码：

河北省衡水市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-05	公开	公开
2024-01-23	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20220629

共 50 条

[1]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973B ,2025-06-17

[2]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973A ,2024-09-20

[3]

等离子刻蚀机清洁装置、方法及等离子刻蚀机 [P].

张彬彬 ;

苏财钰 ;

张涛 ;

苟先华 ;

肖峰 .

中国专利 :CN117766367A ,2024-03-26

[4]

等离子刻蚀承载装置及等离子刻蚀机 [P].

丁烨滨 ;

胡根水 ;

孙虎 ;

李俊生 .

中国专利 :CN110299278B ,2019-10-01

[5]

等离子刻蚀机 [P].

欧飞 ;

杨晓峰 ;

谌泽林 ;

刘学光 ;

万稳 .

中国专利 :CN105225989B ,2016-01-06

[6]

等离子刻蚀机 [P].

张小林 ;

白家均 ;

刘文慧 .

中国专利 :CN209216915U ,2019-08-06

[7]

用于等离子刻蚀机的托盘及等离子刻蚀机 [P].

葛丁壹 ;

翁伟 ;

孟令芳 .

中国专利 :CN113851402A ,2021-12-28

[8]

用于等离子刻蚀机的托盘及等离子刻蚀机 [P].

葛丁壹 ;

翁伟 ;

孟令芳 .

中国专利 :CN113851402B ,2024-11-15

[9]

等离子刻蚀装置及等离子刻蚀方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

李可 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN119028797B ,2024-12-31

[10]

等离子刻蚀装置及等离子刻蚀方法 [P].

张朋兵 ;

王兆祥 ;

梁洁 ;

涂乐义 ;

李可 ;

唐乐 ;

顾橙蕾 .

中国专利 :CN119028797A ,2024-11-26

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