一种等离子刻蚀机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810464195.3

申请日：

2018-05-15

公开(公告)号：

CN108470671A

公开(公告)日：

2018-08-31

发明(设计)人：

梁亚梁志强

申请人：

申请人地址：

310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-16	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):H01J 37/32 登记生效日:20190729 变更事项:申请人变更前权利人:梁亚变更后权利人:上海尔迪仪器科技有限公司变更事项:地址变更前权利人:310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号浙江工业大学变更后权利人:201107 上海市闵行区闵北路88弄1-30号第22幢Q158室
2018-09-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20180515
2019-08-27	授权	授权
2018-08-31	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子刻蚀机 [P].

欧飞 ;

杨晓峰 ;

谌泽林 ;

刘学光 ;

万稳 .

中国专利 :CN105225989B ,2016-01-06

[2]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973A ,2024-09-20

[3]

一种等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子体刻蚀机 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 ;

曹俊 ;

薛燕 .

中国专利 :CN118675973B ,2025-06-17

[4]

进气机构和等离子刻蚀机 [P].

孙宝林 .

中国专利 :CN106711004B ,2017-05-24

[5]

一种挡环装置、等离子刻蚀机刻蚀腔及等离子刻蚀机 [P].

郭颂 ;

刘小波 ;

陈兆超 ;

车东晨 ;

叶联 ;

刘磊 ;

刘海洋 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN117352355A ,2024-01-05

[6]

一种等离子刻蚀机 [P].

郭颂 ;

刘海洋 ;

王铖熠 ;

李娜 ;

刘小波 ;

张军 ;

胡冬冬 ;

许开东 .

中国专利 :CN211629034U ,2020-10-02

[7]

等离子刻蚀机清洁装置、方法及等离子刻蚀机 [P].

张彬彬 ;

苏财钰 ;

张涛 ;

苟先华 ;

肖峰 .

中国专利 :CN117766367A ,2024-03-26

[8]

一种刻蚀均匀的等离子刻蚀机 [P].

刘传钦 .

中国专利 :CN120545161B ,2025-10-03

[9]

一种刻蚀均匀的等离子刻蚀机 [P].

刘传钦 .

中国专利 :CN120545161A ,2025-08-26

[10]

等离子刻蚀机 [P].

张小林 ;

白家均 ;

刘文慧 .

中国专利 :CN209216915U ,2019-08-06

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