版图结构及芯片的测试方法

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专利类型
发明
申请号
CN202110354882.1
申请日
2021-03-30
公开(公告)号
CN113097205B
公开(公告)日
2024-06-07
发明(设计)人
张黎
申请人
上海华力微电子有限公司
申请人地址
201315 上海市浦东新区良腾路6号
IPC主分类号
H01L27/02
IPC分类号
H01L21/66 G01R31/28 G01R1/073 G01R1/04
代理机构
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人
周耀君
法律状态
授权
国省代码
上海市
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共 50 条
[1]
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