确定聚焦带电粒子束的束汇聚度的方法和带电粒子束系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280064053.2

申请日：

2022-08-29

公开(公告)号：

CN117981040A

公开(公告)日：

2024-05-03

发明(设计)人：

D·埃伯格 J·布鲁尔 M·芬克斯

申请人：

ICT半导体集成电路测试有限公司

申请人地址：

德国海姆斯特滕

IPC主分类号：

H01J37/22

IPC分类号：

H01J37/26 H01J37/28

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

储思哲;侯颖媖

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	授权	授权
2024-05-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/22申请日:20220829
2024-05-03	公开	公开

共 50 条

[1]

确定聚焦带电粒子束的束汇聚度的方法和带电粒子束系统 [P].

D·埃伯格 ;

J·布鲁尔 ;

M·芬克斯 .

德国专利 :CN117981040B ,2024-12-10

[2]

确定带电粒子束的束会聚度的方法以及带电粒子束系统 [P].

D·恩伯格 ;

J·布罗伊尔 .

德国专利 :CN119355027A ,2025-01-24

[3]

确定带电粒子束的像差的方法，以及带电粒子束系统 [P].

D·埃伯格 ;

J·布鲁尔 ;

M·芬克斯 .

德国专利 :CN118043931A ,2024-05-14

[4]

确定带电粒子束的像差的方法，以及带电粒子束系统 [P].

D·埃伯格 ;

J·布鲁尔 ;

M·芬克斯 .

德国专利 :CN118043931B ,2025-02-21

[5]

带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法 [P].

斯特凡·舒伯特 ;

托马斯·克门 ;

赖纳·克尼佩梅尔 .

中国专利 :CN105765691B ,2016-07-13

[6]

带电粒子束检查系统、带电粒子束检查方法 [P].

杜航 ;

横须贺俊之 ;

笹气裕子 ;

渡边康子 ;

木村爱美 .

日本专利 :CN118476004A ,2024-08-09

[7]

带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法 [P].

J.A.诺特四世 ;

F-F.拉曼 ;

W.黄 ;

S.麦克维伊 .

中国专利 :CN104282517B ,2015-01-14

[8]

带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法 [P].

J.A.诺特四世 ;

A.格罗霍尔斯基 ;

R.康纳斯 ;

M.D.迪马纳 ;

R.希尔 .

中国专利 :CN104282515A ,2015-01-14

[9]

带电粒子束系统及操作带电粒子束系统的方法 [P].

J.A.诺特四世 ;

M.D.迪马纳 ;

R.希尔 ;

R.康纳斯 ;

A.格罗霍尔斯基 .

中国专利 :CN104282516A ,2015-01-14

[10]

带电粒子束透镜装置、带电粒子束柱及带电粒子束曝光装置 [P].

阿部智彦 ;

小岛真一 .

中国专利 :CN107017142A ,2017-08-04

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