确定带电粒子束的束会聚度的方法以及带电粒子束系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410957207.1

申请日：

2024-07-17

公开(公告)号：

CN119355027A

公开(公告)日：

2025-01-24

发明(设计)人：

D·恩伯格 J·布罗伊尔

申请人：

ICT半导体集成电路测试有限公司

申请人地址：

德国海姆斯特滕

IPC主分类号：

G01N23/2251

IPC分类号：

H01J37/28

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

侯颖媖;张鑫

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	公开	公开

共 50 条

[1]

确定带电粒子束的像差的方法，以及带电粒子束系统 [P].

D·埃伯格 ;

J·布鲁尔 ;

M·芬克斯 .

德国专利 :CN118043931A ,2024-05-14

[2]

确定带电粒子束的像差的方法，以及带电粒子束系统 [P].

D·埃伯格 ;

J·布鲁尔 ;

M·芬克斯 .

德国专利 :CN118043931B ,2025-02-21

[3]

带电粒子束检查系统、带电粒子束检查方法 [P].

杜航 ;

横须贺俊之 ;

笹气裕子 ;

渡边康子 ;

木村爱美 .

日本专利 :CN118476004A ,2024-08-09

[4]

确定聚焦带电粒子束的束汇聚度的方法和带电粒子束系统 [P].

D·埃伯格 ;

J·布鲁尔 ;

M·芬克斯 .

德国专利 :CN117981040B ,2024-12-10

[5]

确定聚焦带电粒子束的束汇聚度的方法和带电粒子束系统 [P].

D·埃伯格 ;

J·布鲁尔 ;

M·芬克斯 .

德国专利 :CN117981040A ,2024-05-03

[6]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

松井秀树 .

中国专利 :CN111624857A ,2020-09-04

[7]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

野村春之 ;

中山田宪昭 .

中国专利 :CN114787958A ,2022-07-22

[8]

带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置 [P].

松井秀树 .

日本专利 :CN111624857B ,2024-04-02

[9]

带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法 [P].

中山贵仁 .

中国专利 :CN109698106B ,2019-04-30

[10]

带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法 [P].

安田淳平 ;

涌井直人 .

日本专利 :CN115113489B ,2025-04-11

← 1 2 3 4 5 →