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带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010118952.9
申请日：
2020-02-26
公开(公告)号：
CN111624857B
公开(公告)日：
2024-04-02
发明(设计)人：
松井秀树
申请人：
纽富来科技股份有限公司
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
G03F9/00
H01J37/304
H01J37/317
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
刘杰
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-02 | 授权 | 授权 |