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带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910480018.9
申请日：
2019-06-04
公开(公告)号：
CN110571116A
公开(公告)日：
2019-12-13
发明(设计)人：
东矢高尚
森田博文
小笠原宗博
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县
IPC主分类号：
H01J37145
IPC分类号：
H01J37317
代理机构：
永新专利商标代理有限公司 72002
代理人：
夏斌
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-12-13 | 公开 | 公开 |
| 2020-01-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/145 申请日:20190604 |