光学邻近修正方法、掩膜版及可读存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210867520.7

申请日：

2022-07-22

公开(公告)号：

CN117471857A

公开(公告)日：

2024-01-30

发明(设计)人：

朱斌王浩王谨恒陈洁张剑曹楠

申请人：

无锡华润上华科技有限公司

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F1/36

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

虞凌霄

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20220722
2024-01-30	公开	公开

共 50 条

[1]

光学临近修正方法、掩膜版及可读存储介质 [P].

孙鹏飞 ;

王谨恒 ;

陈洁 ;

朱斌 ;

张剑 ;

曹楠 .

中国专利 :CN115509081B ,2025-01-21

[2]

光学临近修正方法、掩膜版及可读存储介质 [P].

孙鹏飞 ;

王谨恒 ;

陈洁 ;

朱斌 ;

张剑 ;

曹楠 .

中国专利 :CN115509081A ,2022-12-23

[3]

光学邻近修正方法及修正装置、掩膜版、设备和存储介质 [P].

朱斌 ;

王浩 ;

陈洁 ;

张剑 ;

曹楠 ;

严保鑫 ;

陈圆香 .

中国专利 :CN121165387A ,2025-12-19

[4]

光学邻近效应矫正方法、掩膜版及可读存储介质 [P].

朱斌 ;

王浩 ;

陈洁 ;

张剑 ;

曹楠 ;

严保鑫 .

中国专利 :CN119200315A ,2024-12-27

[5]

光学邻近效应矫正方法、掩膜版及可读存储介质 [P].

张剑 ;

王浩 ;

陈洁 ;

朱斌 ;

曹楠 ;

严保鑫 .

中国专利 :CN120928640A ,2025-11-11

[6]

光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

杜杳隽 ;

丁丽华 .

中国专利 :CN116165837B ,2025-09-02

[7]

光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

杜杳隽 .

中国专利 :CN115903368B ,2025-08-05

[8]

光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

张戈 ;

王晨 ;

李丹然 ;

陈巧丽 .

中国专利 :CN117706859A ,2024-03-15

[9]

光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

徐轩岳 ;

陈蓓 ;

胡月 .

中国专利 :CN119225110A ,2024-12-31

[10]

光学邻近修正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

杜杳隽 ;

王兰芳 .

中国专利 :CN116068839B ,2025-09-02

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