光学邻近效应矫正方法、掩膜版及可读存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410565286.1

申请日：

2024-05-08

公开(公告)号：

CN120928640A

公开(公告)日：

2025-11-11

发明(设计)人：

张剑王浩陈洁朱斌曹楠严保鑫

申请人：

无锡华润上华科技有限公司

申请人地址：

214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区新洲路8号

IPC主分类号：

G03F1/36

IPC分类号：

G03F7/00

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

虞凌霄

法律状态：

公开

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-11	公开	公开
2025-11-28	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/36申请日:20240508

共 50 条

[1]

光学邻近效应矫正方法、掩膜版及可读存储介质 [P].

朱斌 ;

王浩 ;

陈洁 ;

张剑 ;

曹楠 ;

严保鑫 .

中国专利 :CN119200315A ,2024-12-27

[2]

光学邻近效应校正方法、掩膜版及可读存储介质 [P].

朱斌 ;

王谨恒 ;

陈洁 ;

张剑 ;

曹楠 ;

孙鹏飞 .

中国专利 :CN114578650A ,2022-06-03

[3]

光学邻近效应校正方法、掩膜版及可读存储介质 [P].

朱斌 ;

王谨恒 ;

陈洁 ;

张剑 ;

曹楠 ;

孙鹏飞 .

中国专利 :CN114578650B ,2025-12-02

[4]

光学邻近修正方法、掩膜版及可读存储介质 [P].

朱斌 ;

王浩 ;

王谨恒 ;

陈洁 ;

张剑 ;

曹楠 .

中国专利 :CN117471857A ,2024-01-30

[5]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

王良 ;

张迎春 .

中国专利 :CN115047707A ,2022-09-13

[6]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

王良 .

中国专利 :CN114879445B ,2025-12-23

[7]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备及存储介质 [P].

王良 .

中国专利 :CN114879445A ,2022-08-09

[8]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备、存储介质 [P].

柏锋 ;

杜杳隽 ;

李甲兮 ;

张婉娟 ;

李亮 .

中国专利 :CN113050366A ,2021-06-29

[9]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备、存储介质 [P].

柏锋 ;

杜杳隽 ;

李甲兮 ;

张婉娟 ;

李亮 .

中国专利 :CN113050366B ,2024-05-17

[10]

光学邻近矫正方法及系统、掩膜版、设备与存储介质 [P].

陈巧丽 ;

孟阳 ;

王英芳 .

中国专利 :CN114077774B ,2025-06-20

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