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一种电加热的喷淋板与半导体工艺设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311498545.5
申请日：
2023-11-10
公开(公告)号：
CN117512566A
公开(公告)日：
2024-02-06
发明(设计)人：
申思
申请人：
拓荆科技股份有限公司
申请人地址：
110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号
IPC主分类号：
C23C16/455
IPC分类号：
C23C16/505
C23C16/52
H01L21/67
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
徐伟
法律状态：
公开
国省代码：
辽宁省
沈阳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-06 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-14 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):C23C 16/455申请公布日:20240206 |
| 2024-02-27 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/455申请日:20231110 |