压阻式压力传感器及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311536586.9

申请日：

2023-11-17

公开(公告)号：

CN117263139B

公开(公告)日：

2024-02-02

发明(设计)人：

吕萍李刚

申请人：

苏州敏芯微电子技术股份有限公司

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区旺家浜巷8号

IPC主分类号：

H10N30/00

IPC分类号：

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

张华蒙

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-01-09	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B81B 7/02申请日:20231117
2024-02-02	授权	授权

共 50 条

[1]

压阻式压力传感器及其制备方法 [P].

黄贤 ;

谢军 ;

吴昭 .

中国专利 :CN106066219B ,2016-11-02

[2]

MEMS压阻式压力传感器及其制备方法 [P].

李维平 ;

兰之康 ;

管武干 ;

侯鸿道 .

中国专利 :CN116539196B ,2024-01-19

[3]

压阻式压力传感器及其制备方法 [P].

朱朋莉 ;

帅行天 ;

李刚 ;

胡友根 ;

孙蓉 .

中国专利 :CN106092390A ,2016-11-09

[4]

MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法 [P].

张威 ;

张大成 ;

刘蓓 ;

李婷 ;

王阳元 .

中国专利 :CN1193218C ,2003-07-30

[5]

一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法 [P].

兰之康 ;

黄晓东 ;

侯赛雅 ;

张鹏飞 ;

张佳 .

中国专利 :CN118392382A ,2024-07-26

[6]

一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法 [P].

兰之康 ;

黄晓东 ;

侯赛雅 ;

张鹏飞 ;

张佳 .

中国专利 :CN118392382B ,2024-12-13

[7]

一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法 [P].

黄晓东 ;

张志强 ;

兰之康 ;

秦明 ;

黄见秋 ;

韩磊 .

中国专利 :CN114088257A ,2022-02-25

[8]

柔性压阻式压力传感器及其制备方法 [P].

邓维礼 ;

王生龙 ;

杨维清 ;

田果 ;

杨涛 ;

熊达 ;

张洪瑞 ;

兰浡玲 ;

邓林 ;

孙悦 ;

曾王鸿 ;

敖勇 ;

张睫灵 .

中国专利 :CN114878035A ,2022-08-09

[9]

柔性压阻式压力传感器及其制备方法 [P].

尚杰 ;

王逸韬 ;

刘家麟 ;

胡思齐 ;

项紫银 ;

马腾飞 ;

汪玲 ;

毛健 ;

李润伟 .

中国专利 :CN118209226A ,2024-06-18

[10]

压阻式压力传感器 [P].

李刚 ;

胡维 ;

吕萍 .

中国专利 :CN204085748U ,2015-01-07

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