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モリブデン含有皮膜の堆積のためのビス（アルキルイミド）−ビス（アルキルアミド）モリブデン分子[ja]
被引：0
申请号：
JP20150562387
申请日：
2014-03-12
公开(公告)号：
JP2016516892A
公开(公告)日：
2016-06-09
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/18
IPC分类号：
C23C16/455
H01L21/28
H01L21/285
H01L21/316
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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