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モリブデン含有膜の堆積のための液体モリブデンビス（アレーン）組成物[ja]
被引：0
申请号：
JP20250506082
申请日：
2023-07-18
公开(公告)号：
JP2025525934A
公开(公告)日：
2025-08-07
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/18
IPC分类号：
H01L21/316
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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