共 50 条
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タングステン膜又はモリブデン膜を堆積させるための方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20210519582
申请日：
2019-09-24
公开(公告)号：
JP2022504527A
公开(公告)日：
2022-01-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/18
IPC分类号：
C23C16/455
H01L21/28
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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