基板搬送装置和配置有这种基板搬送装置的真空处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510090328.8

申请日：

2005-08-12

公开(公告)号：

CN1754795A

公开(公告)日：

2006-04-05

发明(设计)人：

田口竜大

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

B65G4907

IPC分类号：

H01L2108

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人：

寿宁;张华辉

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-04-05	公开	公开
2010-05-05	授权	授权
2020-07-31	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B65G 49/07 申请日:20050812 授权公告日:20100505 终止日期:20190812
2006-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

搬送装置、真空处理装置、以及搬送方法 [P].

吉田大介 .

中国专利 :CN101952950B ,2011-01-19

[2]

搬送装置及使用该搬送装置的真空处理装置 [P].

南展史 ;

藤村和广 .

中国专利 :CN101730613A ,2010-06-09

[3]

基板搬送装置和基板搬送方法 [P].

樱林务 ;

辻德彦 .

中国专利 :CN108695206B ,2018-10-23

[4]

搬送装置及真空处理装置 [P].

村山升 .

中国专利 :CN101038447A ,2007-09-19

[5]

基板搬送装置及具备基板搬送装置的基板处理装置 [P].

谷泽昭寻 ;

木场隆 ;

小林贤一 ;

赤泽贤一 ;

杜峯杰 ;

柏木诚 ;

真继阿沙葵 ;

南条贵弘 ;

青山英治 ;

三谷隆 ;

户川哲二 .

中国专利 :CN112424924A ,2021-02-26

[6]

基板搬送装置及具备基板搬送装置的基板处理装置 [P].

谷泽昭寻 ;

木场隆 ;

小林贤一 ;

赤泽贤一 ;

杜峯杰 ;

柏木诚 ;

真继阿沙葵 ;

南条贵弘 ;

青山英治 ;

三谷隆 ;

户川哲二 .

日本专利 :CN112424924B ,2024-05-31

[7]

基板搬送装置、基板处理系统和基板搬送方法 [P].

阪上博充 ;

小泽雅仁 ;

古屋雄一 ;

信田菜奈子 ;

广瀬胜人 ;

稻垣守人 .

中国专利 :CN102881618A ,2013-01-16

[8]

基板搬送装置以及具备该基板搬送装置的基板处理装置 [P].

佐藤卓也 ;

河原启之 .

日本专利 :CN119673837A ,2025-03-21

[9]

基板搬送装置以及具有该基板搬送装置的基板处理装置 [P].

河原启之 ;

太田乔 ;

岩尾通矩 ;

佐藤卓也 .

日本专利 :CN120072726A ,2025-05-30

[10]

基板搬送装置以及具备该基板搬送装置的基板处理装置 [P].

河原启之 ;

太田乔 ;

佐藤卓也 ;

北村藤和 .

日本专利 :CN119673836A ,2025-03-21

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