搬送装置及真空处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710088653.X

申请日：

2007-03-13

公开(公告)号：

CN101038447A

公开(公告)日：

2007-09-19

发明(设计)人：

村山升

申请人：

申请人地址：

日本东京都大田区中马込1丁目3番6号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G11B726 B65H500 B65G4774

代理机构：

上海市华诚律师事务所

代理人：

徐申民;张惠萍

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-09-19	公开	公开
2007-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-11-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回

共 50 条

[1]

搬送装置、真空处理装置、以及搬送方法 [P].

吉田大介 .

中国专利 :CN101952950B ,2011-01-19

[2]

搬送装置及使用该搬送装置的真空处理装置 [P].

南展史 ;

藤村和广 .

中国专利 :CN101730613A ,2010-06-09

[3]

真空处理装置及真空处理方法 [P].

佐竹彻 .

中国专利 :CN103392027A ,2013-11-13

[4]

真空处理方法及真空处理装置 [P].

津田英司 .

中国专利 :CN105483639B ,2016-04-13

[5]

真空处理装置及真空处理方法 [P].

田之口亮斗 ;

坪内宏树 ;

生方孝男 .

日本专利 :CN116438621B ,2025-07-18

[6]

基板搬送装置和配置有这种基板搬送装置的真空处理装置 [P].

田口竜大 .

中国专利 :CN1754795A ,2006-04-05

[7]

真空处理装置 [P].

饭岛荣一 ;

池田裕人 ;

矶佳树 .

中国专利 :CN102762762B ,2012-10-31

[8]

真空处理装置 [P].

饭岛荣一 ;

增田行男 ;

矶佳树 ;

箱守宗人 .

中国专利 :CN101563479A ,2009-10-21

[9]

真空处理装置的搬送定位方法、真空处理装置和计算机存储介质 [P].

近藤圭祐 ;

小泉浩 .

中国专利 :CN101310376A ,2008-11-19

[10]

真空处理装置、真空处理方法 [P].

饭岛荣一 ;

池田裕人 ;

箱守宗人 .

中国专利 :CN102112646A ,2011-06-29

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