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低紫外光学损耗的氧化铝薄膜的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200810033200.1
申请日：
2008-01-29
公开(公告)号：
CN101220455A
公开(公告)日：
2008-07-16
发明(设计)人：
尚淑珍
赵祖欣
周文煊
黄俊
申请人：
申请人地址：
200237上海市徐汇区梅陇路130号
IPC主分类号：
C23C1408
IPC分类号：
C23C1426
C23C1402
B08B312
C23C1454
C23C1458
代理机构：
上海顺华专利代理有限责任公司
代理人：
谈顺法
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2011-10-26 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101200112927 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2008100332001 公开日:20080716 |
| 2008-07-16 | 公开 | 公开 |