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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-08-18 | 公开 | 公开 |
| 2012-04-04 | 授权 | 授权 |
| 2022-02-22 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 27/146 申请日:20090226 授权公告日:20120404 终止日期:20210226 |
| 2010-10-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101006682169 IPC(主分类):H01L 27/146 专利申请号:2009801005014 申请日:20090226 |