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用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920522783.8
申请日：
2019-04-17
公开(公告)号：
CN209802548U
公开(公告)日：
2019-12-17
发明(设计)人：
刘滕 江致兴 周俐娜
申请人：
申请人地址：
430000 湖北省武汉市洪山区鲁磨路388号
IPC主分类号：
G01L124
IPC分类号：
G01L1102 G03F700 C23C1418 C23C1420 C23C1430
代理机构：
武汉知产时代知识产权代理有限公司 42238
代理人：
孙丽丽
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-12-17 授权 授权
2022-03-29 专利权的终止 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01L 1/24 申请日:20190417 授权公告日:20191217 终止日期:20210417
共 50 条
[1]
用于FP腔光纤压力传感器的镀层式双层敏感膜及制备方法 [P]. 
刘滕 ;
江致兴 ;
周俐娜 .
中国专利 :CN110057479A ,2019-07-26
[2]
用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜 [P]. 
江致兴 ;
刘滕 ;
周俐娜 .
中国专利 :CN209802504U ,2019-12-17
[3]
用于FP腔光纤声学传感器的内嵌式双层敏感膜及制备方法 [P]. 
江致兴 ;
刘滕 ;
周俐娜 .
中国专利 :CN110057438A ,2019-07-26
[4]
基于MEMS工艺的外凸式双层压力敏感膜、FP腔光纤声传感器 [P]. 
江致兴 ;
周俐娜 ;
刘滕 .
中国专利 :CN211425646U ,2020-09-04
[5]
基于MEMS工艺的内嵌式双层压力敏感膜、FP腔光纤声传感器 [P]. 
周俐娜 ;
江致兴 ;
刘滕 .
中国专利 :CN211527597U ,2020-09-18
[6]
基于MEMS工艺的外凸式双层压力敏感膜、FP腔光纤声传感器 [P]. 
江致兴 ;
周俐娜 ;
刘滕 .
中国专利 :CN111141379A ,2020-05-12
[7]
基于MEMS工艺的内嵌式双层压力敏感膜、FP腔光纤声传感器 [P]. 
周俐娜 ;
江致兴 ;
刘滕 .
中国专利 :CN111141380A ,2020-05-12
[8]
光纤压力传感器 [P]. 
高岩 ;
赵泽军 .
中国专利 :CN201193965Y ,2009-02-11
[9]
光纤压力传感器 [P]. 
潘红军 .
中国专利 :CN207703373U ,2018-08-07
[10]
光纤压力传感器 [P]. 
刘志麟 .
中国专利 :CN202092818U ,2011-12-28
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