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基于MEMS工艺的外凸式双层压力敏感膜、FP腔光纤声传感器
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202020068877.5
申请日：
2020-01-13
公开(公告)号：
CN211425646U
公开(公告)日：
2020-09-04
发明(设计)人：
江致兴
周俐娜
刘滕
申请人：
申请人地址：
430000 湖北省武汉市洪山区鲁磨路388号
IPC主分类号：
G01H900
IPC分类号：
B81B702
B81C100
代理机构：
武汉知产时代知识产权代理有限公司 42238
代理人：
付春霞
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-12-23 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01H 9/00 申请日:20200113 授权公告日:20200904 终止日期:20220113 |
| 2020-09-04 | 授权 | 授权 |