一种晶粒尺寸可控ITO陶瓷靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010150796.4

申请日：

2020-03-06

公开(公告)号：

CN111394706B

公开(公告)日：

2020-07-10

发明(设计)人：

何季麟孙本双舒永春刘洋陈杰曾学云

申请人：

申请人地址：

450001 河南省郑州市科学大道100号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1408

代理机构：

北京卫智易创专利代理事务所(普通合伙) 16015

代理人：

朱春野

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-08	授权	授权
2020-07-10	公开	公开
2020-08-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20200306

共 50 条

[1]

一种ITO陶瓷靶材的制备方法 [P].

王永超 ;

赵泽良 ;

贾时君 ;

尤青文 .

中国专利 :CN113735568A ,2021-12-03

[2]

一种ITO靶材的成型方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 .

中国专利 :CN102173816A ,2011-09-07

[3]

一种ITO陶瓷靶制备方法 [P].

张天舒 .

中国专利 :CN102491741A ,2012-06-13

[4]

IZO陶瓷靶材及其制备方法 [P].

王之君 ;

薛建设 ;

王梦迪 ;

孙本双 ;

刘苗 ;

王成铎 ;

陈杰 ;

刘洋 ;

曾学云 .

中国专利 :CN118754608A ,2024-10-11

[5]

ITO靶材或其他陶瓷靶材的绑定方法 [P].

余芳 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN109136868A ,2019-01-04

[6]

一种制备ITO靶材的方法 [P].

杨硕 ;

郗雨林 ;

王政红 .

中国专利 :CN103787650B ,2014-05-14

[7]

一种大尺寸旋转陶瓷靶材制备方法 [P].

李庆丰 ;

骆树立 ;

王建堂 ;

骆如河 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 ;

骆利军 ;

王壮伟 ;

骆胜凯 ;

骆胜喜 .

中国专利 :CN111440000B ,2020-07-24

[8]

一种新型ITO靶材的制备方法 [P].

黄誓成 ;

陆映东 ;

梁盈祥 ;

张倍维 ;

宋春华 ;

黄作 ;

覃丽莉 ;

莫斌 .

中国专利 :CN117902893B ,2025-12-09

[9]

高纯高密度ITO靶材的制备方法 [P].

钟小华 ;

麻七克 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN105712703A ,2016-06-29

[10]

一种Y掺杂ITO靶材及其制备方法与应用 [P].

唐智勇 ;

唐安泰 ;

程波 .

中国专利 :CN117362005A ,2024-01-09

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