一种ITO陶瓷靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111111721.6

申请日：

2021-09-23

公开(公告)号：

CN113735568A

公开(公告)日：

2021-12-03

发明(设计)人：

王永超赵泽良贾时君尤青文

申请人：

申请人地址：

530000 广西壮族自治区南宁市金凯路13号1号厂房1-3层

IPC主分类号：

C04B3501

IPC分类号：

C04B35622 C04B35626 C04B35645 C23C1434 B28B300 B28B302

代理机构：

郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149

代理人：

边延松

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-03	公开	公开
2021-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/01 申请日:20210923

共 50 条

[1]

一种ITO溅射靶材的制备方法 [P].

王永超 ;

赵泽良 ;

贾时君 ;

尤青文 .

中国专利 :CN113788669A ,2021-12-14

[2]

一种管状ITO靶材的制备方法 [P].

梅方胜 ;

陈立三 ;

彭小苏 ;

赵为上 ;

陈卫飞 ;

佘旭 ;

李文伟 .

中国专利 :CN108002815A ,2018-05-08

[3]

一种ITO烧结靶材的制备方法 [P].

梅方胜 ;

袁铁锤 ;

陈立三 ;

杨杨 ;

刘文德 ;

李瑞迪 ;

赵为上 ;

苗华磊 .

中国专利 :CN108947520A ,2018-12-07

[4]

一种ITO陶瓷靶制备方法 [P].

张天舒 .

中国专利 :CN102491741A ,2012-06-13

[5]

一种制备管状ITO靶材的工艺方法 [P].

王文军 ;

刘敏 ;

张天芳 .

中国专利 :CN108569890A ,2018-09-25

[6]

一种晶粒尺寸可控ITO陶瓷靶材的制备方法 [P].

何季麟 ;

孙本双 ;

舒永春 ;

刘洋 ;

陈杰 ;

曾学云 .

中国专利 :CN111394706B ,2020-07-10

[7]

一种ITO烧结靶材的制备方法 [P].

唐智勇 .

中国专利 :CN112592173A ,2021-04-02

[8]

ITO靶材或其他陶瓷靶材的绑定方法 [P].

余芳 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN109136868A ,2019-01-04

[9]

一种制备ITO靶材的方法 [P].

杨硕 ;

郗雨林 ;

王政红 .

中国专利 :CN103787650B ,2014-05-14

[10]

一种ITO靶材的制备方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 .

中国专利 :CN102173817A ,2011-09-07

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