一种ITO烧结靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011482760.2

申请日：

2020-12-15

公开(公告)号：

CN112592173A

公开(公告)日：

2021-04-02

发明(设计)人：

唐智勇

申请人：

申请人地址：

412000 湖南省株洲市天易科技城A5栋

IPC主分类号：

C04B35457

IPC分类号：

C04B35622 C04B35645 B28B300

代理机构：

广州粤高专利商标代理有限公司 44102

代理人：

杨千寻;杜梅花

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-02	公开	公开
2021-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/457 申请日:20201215

共 50 条

[1]

一种ITO烧结靶材的制备方法 [P].

梅方胜 ;

袁铁锤 ;

陈立三 ;

杨杨 ;

刘文德 ;

李瑞迪 ;

赵为上 ;

苗华磊 .

中国专利 :CN108947520A ,2018-12-07

[2]

一种管状ITO靶材的制备方法 [P].

梅方胜 ;

陈立三 ;

彭小苏 ;

赵为上 ;

陈卫飞 ;

佘旭 ;

李文伟 .

中国专利 :CN108002815A ,2018-05-08

[3]

一种ITO陶瓷靶材的制备方法 [P].

王永超 ;

赵泽良 ;

贾时君 ;

尤青文 .

中国专利 :CN113735568A ,2021-12-03

[4]

一种制备管状ITO靶材的工艺方法 [P].

王文军 ;

刘敏 ;

张天芳 .

中国专利 :CN108569890A ,2018-09-25

[5]

一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法 [P].

李龙腾 ;

刘冠鹏 .

中国专利 :CN107129277B ,2017-09-05

[6]

一种纳米均相ITO粉制备ITO靶材的方法 [P].

王政红 ;

张秀勤 ;

薛建强 ;

邢朋飞 .

中国专利 :CN101392362A ,2009-03-25

[7]

一种TFT级ITO靶材的常压烧结方法 [P].

黄誓成 ;

陆映东 ;

黄作 ;

武建良 ;

农浩 .

中国专利 :CN105294072B ,2016-02-03

[8]

一种ITO镀膜靶材及其制备方法 [P].

包松养 .

中国专利 :CN108642458A ,2018-10-12

[9]

一种ITO靶材的成型方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 .

中国专利 :CN102173816A ,2011-09-07

[10]

一种ITO残靶回收方法及ITO靶材 [P].

聂全义 ;

张亚博 ;

李帅 ;

刘仁宇 ;

蔡新志 ;

余芳 ;

李春生 .

中国专利 :CN119954507A ,2025-05-09

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