一种ITO烧结靶材的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201810671772.6
申请日
2018-06-26
公开(公告)号
CN108947520A
公开(公告)日
2018-12-07
发明(设计)人
梅方胜 袁铁锤 陈立三 杨杨 刘文德 李瑞迪 赵为上 苗华磊
申请人
申请人地址
412000 湖南省株洲市天元区渌江路10号
IPC主分类号
C04B35457
IPC分类号
C04B35622 C23C1435
代理机构
长沙朕扬知识产权代理事务所(普通合伙) 43213
代理人
周孝湖
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种ITO烧结靶材的制备方法 [P]. 
唐智勇 .
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[2]
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张秀勤 ;
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[3]
一种ITO陶瓷靶材的制备方法 [P]. 
王永超 ;
赵泽良 ;
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尤青文 .
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[4]
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马建保 ;
林燕明 ;
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陶成 ;
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[5]
一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法 [P]. 
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[6]
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[7]
一种新型高密度ITO靶材制备方法 [P]. 
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[8]
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[9]
一种Y掺杂ITO靶材及其制备方法与应用 [P]. 
唐智勇 ;
唐安泰 ;
程波 .
中国专利 :CN117362005B ,2024-09-03
[10]
一种制备ITO靶材的方法 [P]. 
杨硕 ;
郗雨林 ;
王政红 .
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