一种纳米均相ITO粉制备ITO靶材的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810230779.0

申请日：

2008-10-30

公开(公告)号：

CN101392362A

公开(公告)日：

2009-03-25

发明(设计)人：

王政红张秀勤薛建强邢朋飞

申请人：

申请人地址：

471039河南省洛阳市涧西区西苑路21号

IPC主分类号：

C23C1408

IPC分类号：

C23C1435

代理机构：

洛阳市凯旋专利事务所

代理人：

符继超

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-09-14	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101183783505 IPC(主分类):C23C 14/08 专利申请号:2008102307790 公开日:20090325
2009-03-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种ITO废靶回收粉末制备ITO靶材的方法 [P].

李龙腾 ;

刘冠鹏 .

中国专利 :CN107129277B ,2017-09-05

[2]

一种新型高密度ITO靶材制备方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN110818404A ,2020-02-21

[3]

一种新型高密度ITO靶材制备方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN120097721A ,2025-06-06

[4]

一种ITO烧结靶材的制备方法 [P].

梅方胜 ;

袁铁锤 ;

陈立三 ;

杨杨 ;

刘文德 ;

李瑞迪 ;

赵为上 ;

苗华磊 .

中国专利 :CN108947520A ,2018-12-07

[5]

ITO靶材的制备方法 [P].

雷雨 ;

周志宏 ;

肖世洪 ;

周昭宇 ;

汪政军 ;

刘芳 .

中国专利 :CN113321490A ,2021-08-31

[6]

稀土离子掺杂ITO靶材的制备方法 [P].

王志强 ;

马建保 ;

林燕明 ;

曾墩风 ;

陶成 ;

毕荣锋 .

中国专利 :CN114032517A ,2022-02-11

[7]

一种ITO靶材的制备方法 [P].

骆树立 ;

王建堂 ;

李庆丰 ;

骆如河 ;

骆如田 ;

骆胜华 ;

骆胜磊 .

中国专利 :CN102173817A ,2011-09-07

[8]

一种Y掺杂ITO靶材及其制备方法与应用 [P].

唐智勇 ;

唐安泰 ;

程波 .

中国专利 :CN117362005A ,2024-01-09

[9]

一种Y掺杂ITO靶材及其制备方法与应用 [P].

唐智勇 ;

唐安泰 ;

程波 .

中国专利 :CN117362005B ,2024-09-03

[10]

一种高铟含量的ITO靶材的制备方法 [P].

张兵 ;

王志强 ;

曾墩风 ;

马建保 ;

陶成 ;

徐军伟 .

中国专利 :CN114873992A ,2022-08-09

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