一种新型高密度ITO靶材制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810901538.8

申请日：

2018-08-09

公开(公告)号：

CN110818404A

公开(公告)日：

2020-02-21

发明(设计)人：

唐安泰

申请人：

申请人地址：

412000 湖南省株洲市天元区天易科技城A5栋

IPC主分类号：

C04B35457

IPC分类号：

C04B35626 C04B35622 C23C1434

代理机构：

广州粤高专利商标代理有限公司 44102

代理人：

任重;冯振宁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C04B 35/457 申请日:20180809
2020-02-21	公开	公开

共 50 条

[1]

一种新型高密度ITO靶材制备方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN120097721A ,2025-06-06

[2]

高密度ITO靶材及其制造方法 [P].

徐华蕊 ;

廖春图 ;

周怀营 ;

胡林轩 ;

刘心宇 .

中国专利 :CN1528945A ,2004-09-15

[3]

高密度ITO靶材的制备方法 [P].

黄岩 ;

丁迎春 ;

钱政宇 .

中国专利 :CN108911707A ,2018-11-30

[4]

高密度ITO靶材粉末的处理方法 [P].

马建保 ;

王志强 ;

陶成 ;

曾墩风 ;

盛明亮 .

中国专利 :CN113800900A ,2021-12-17

[5]

一种高密度IZTO靶材的制备方法 [P].

曾墩风 ;

陈光园 ;

王志强 ;

曾探 ;

赵岩 .

中国专利 :CN116768604B ,2024-08-30

[6]

高密度ITO靶材的制备方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN114773052A ,2022-07-22

[7]

一种超高密度的ITO靶材制备工艺 [P].

曾墩风 ;

张兵 ;

王志强 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN118978397A ,2024-11-19

[8]

高纯高密度ITO靶材的制备方法 [P].

钟小华 ;

麻七克 ;

朱刘 ;

童培云 .

中国专利 :CN105712703A ,2016-06-29

[9]

一种高密度ITO平面靶材的制备方法 [P].

杨进明 ;

丁金铎 ;

葛春桥 ;

李强 ;

陈露 ;

钟威平 ;

袁兆明 .

中国专利 :CN118047605A ,2024-05-17

[10]

不同比表面积氧化铟制备高密度旋转ITO靶材的方法 [P].

武炳 ;

马建保 ;

曾墩风 ;

徐军伟 ;

王志强 .

中国专利 :CN119874333A ,2025-04-25

← 1 2 3 4 5 →