一种高密度IZTO靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310719195.4

申请日：

2023-06-16

公开(公告)号：

CN116768604B

公开(公告)日：

2024-08-30

发明(设计)人：

曾墩风陈光园王志强曾探赵岩

申请人：

芜湖映日科技股份有限公司

申请人地址：

241000 安徽省芜湖市(安徽)自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房

IPC主分类号：

C04B35/01

IPC分类号：

C04B35/453 C04B35/622 C23C14/08 C23C14/35 C23C14/24

代理机构：

南京正联知识产权代理有限公司 32243

代理人：

杨静

法律状态：

授权

国省代码：

河北省唐山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种新型高密度ITO靶材制备方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN110818404A ,2020-02-21

[2]

一种新型高密度ITO靶材制备方法 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN120097721A ,2025-06-06

[3]

一种超高密度的ITO靶材制备工艺 [P].

曾墩风 ;

张兵 ;

王志强 ;

曾探 ;

陈光园 .

中国专利 :CN118978397A ,2024-11-19

[4]

高密度ITO靶材及其制造方法 [P].

徐华蕊 ;

廖春图 ;

周怀营 ;

胡林轩 ;

刘心宇 .

中国专利 :CN1528945A ,2004-09-15

[5]

一种高密度ITO平面靶材的制备方法 [P].

杨进明 ;

丁金铎 ;

葛春桥 ;

李强 ;

陈露 ;

钟威平 ;

袁兆明 .

中国专利 :CN118047605A ,2024-05-17

[6]

高密度AZO靶材及其制备方法 [P].

程会伦 ;

赵小军 ;

虞辉 ;

覃雪峰 .

中国专利 :CN102924076A ,2013-02-13

[7]

一种梯度烧结制备高密度钼靶材的方法 [P].

张石明 ;

车玉思 ;

张环 ;

赵转 ;

卫玉卓 ;

陈熠 ;

阚婷 .

中国专利 :CN120362476A ,2025-07-25

[8]

高密度ITO靶材粉末的处理方法 [P].

马建保 ;

王志强 ;

陶成 ;

曾墩风 ;

盛明亮 .

中国专利 :CN113800900A ,2021-12-17

[9]

一种高密度低铟含量ITO靶材的制备方法 [P].

陆映东 ;

梁盈祥 ;

宋春华 ;

黄誓成 ;

张倍维 ;

黄作 ;

莫斌 ;

陆岱骏 ;

覃丽莉 .

中国专利 :CN118084480A ,2024-05-28

[10]

一种高密度低铟含量ITO靶材的制备方法 [P].

陆映东 ;

梁盈祥 ;

宋春华 ;

黄誓成 ;

张倍维 ;

黄作 ;

莫斌 ;

陆岱骏 ;

覃丽莉 .

中国专利 :CN118084480B ,2025-11-28

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